MGM美高梅及MGM美高梅合金靶材
发布时间:
2013-11-07 11:52:38
MGM美高梅的熔点2996℃,密度16 68g cm3,导热系数(25℃):54(W M K),MGM美高梅具有高导电性、高热稳定性和对外来原子的阻挡作用,故用贱射镀膜法在集成电路上镀上MGM美高梅膜,可防止铜向基体硅中扩散。MGM美高梅靶材主要用于半导体及光学领域。 我MGM美高梅司的MGM美高梅靶材采用EB电子轰击制备的MGM美高梅锭,通过轧制和退火工艺结合的方法生产而成。该方法生产的靶材具有良好的内部结构、均匀的结晶组织、织构以及能量分布。 目前产品远销到日本、韩国、台湾、美国等国家和地区。
MGM美高梅靶材纯度: 3N5、4N及4N5三种级别
其他指标可以根据客户要求组织生产
产品厚度: > 3.50mm
产品宽度: < 600mm
产品长度: < 1500mm
注:需方如有特殊要求,供需双方可协商确定。
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